- S48 300/HMT 质量流量计
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使用范围:
S48 300/HMT 质量流量计广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。
质量流量控制器和质量流量计
质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC),具备流量测量和流量控制两种功能。
质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM),只有流量测量功能,不具备气流控制功能。
S48 300/HMT 质量流量计的特点
☆ 在引进HORIBA STEC技术基础上,结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品,采用当今*的32位ARM系列处理器做数字控制。具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。
☆ RS232/485串口, Modbus(RTU)开放协议。协议简单可靠,兼容性强,易于组网。配合上位机,可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。气阻较小,工作压力范围宽。
☆主体采用不锈钢(316L)结构,气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐腐蚀性强。
☆可任意角度安装。
☆兼容数字和模拟控制及显示,使用方便。易于与电气或自动控制系统配合。配合MT-50或51系列流量显示仪,可对气流的瞬时流量进行精确测量和计量。
S48 300/HMT数字流量控制器技术指标
编号
项目
S48 300/HMT
1
流量规格
(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
2
调节阀类型
电磁调节阀
3
调节阀静止状态
常闭
4
安装角度
任意
5
流量控制范围
2%-100%F.S.
6
流量测量范围
0-100%F.S.
7
响应时间
≤ 1 sec
8
工作环境温度
5-50℃
9
精度保证温度
15-35℃
10
精度
±1.0% S.P.(≥30% F.S.);±0.30% F.S.(<30% F.S.)
11
线性精度
±0.5%F.S.
12
重复性
±0.2%F.S.
13
工作压差
-5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D)
14
耐压
3MPa(G)
15
泄漏率
<1×10-8Pa·m3/s(He)
16
接触气体材料
316L,Viton? 氟橡胶,PTFE
17
管路接头
Swagelok:Φ6mm,Φ10mm,Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″
18
供电电源
±15V(±5%),+15V,150mA;-15V,200mA
19
设定信号
数字:RS485/RS232
模拟:0 - +5V,输入阻抗>10kΩ
20
流量输出信号
数字:RS485/RS232
模拟:0 - +5V,负载能力≤3mA
21
通讯接口
数字RS232/RS485,波特率4800/9600/19200bps,
Modbus RTU 协议从机,设备号可选范围0-15
22
重量(kg)
0.9
订货规范
在订货时应指明是质量流量控制器还是质量流量计,指明S48 300/HMT产品型号,流量规格,使用气体种类,管接头种类。
例如:MFC(或MFM)-S48 300/HMT(产品型号)500mL/min(流量规格) N2(气体种类) Φ6(管路接头)